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浜松ホトニクス / Hamamatsu Photonics / 2007 / No.3

2007/11/17 22:23:33

出願人：浜松ホトニクス
公開年：2007年
Applicant: Hamamatsu Photonics
Publication Year: 2007

No.1  No.2  No.3  No.4  No.5  No.6  No.7 

テーマ:知的財産権

浜松ホトニクス / Hamamatsu Photonics / 2007 / No.2

2007/11/17 22:23:08

出願人：浜松ホトニクス
公開年：2007年
Applicant: Hamamatsu Photonics
Publication Year: 2007

No.1  No.2  No.3  No.4  No.5  No.6  No.7 

テーマ:知的財産権

浜松ホトニクス / Hamamatsu Photonics / 2007 / No.1

2007/11/17 22:09:53

出願人：浜松ホトニクス
公開年：2007年
Applicant: Hamamatsu Photonics
Publication Year: 2007

No.1  No.2  No.3  No.4  No.5  No.6  No.7 

テーマ:知的財産権

光検出器

(12)【公報種別】公開特許公報（Ａ）
(11)【公開番号】特開２００７−１３４４５７（Ｐ２００７−１３４４５７Ａ）
(43)【公開日】平成１９年５月３１日（２００７．５．３１）
(54)【発明の名称】光検出器
(51)【国際特許分類】

H01L 31/10 (2006.01)
【ＦＩ】

H01L 31/10 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】５
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】９
(21)【出願番号】特願２００５−３２５０５９（Ｐ２００５−３２５０５９）
(22)【出願日】平成１７年１１月９日（２００５．１１．９）
(71)【出願人】
【識別番号】０００２３６４３６
【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社
【住所又は居所】静岡県浜松市市野町１１２６番地の１
(74)【代理人】
【識別番号】１０００８８１５５
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】１０００９２６５７
【弁理士】
【氏名又は名称】寺崎 史朗
(74)【代理人】
【識別番号】１００１２４２９１
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 悟
(72)【発明者】
【氏名】滝本 貞治
【住所又は居所】静岡県浜松市市野町１１２６番地の１ 浜松ホトニクス株式会社内
【テーマコード（参考）】

5F049
【Ｆターム（参考）】

5F049 MA02 NA10 PA08 QA03 RA04 WA01

--------------------------------------------------

(57)【要約】
【課題】波長選択性を更に向上可能な光検出器を提供する。
【解決手段】第１及び第２ウェル領域１ｐ，２ｐには不純物濃度差があるので、キャリアのＰＮ接合への流入量が異なる。第１及び第２ホトダイオードＰＤ１，ＰＤ２の出力を第１及び第２電極Ｅ１，Ｅ２を介して差分を出力する信号処理回路２０に入力すると、入射光の長波長成分がカットされた状態で、キャリア流入量差に依存した比較的長波長の成分が信号処理回路２０から出力されることとなる。双方のホトダイオードＰＤ１，ＰＤ２はウェル領域１ｐ、２ｐを用いているため、これらの構造の差異に起因する短波長側の信号レベル差（ノイズ信号）は減少し、波長選択性を十分に改善することができる。
【選択図】図１



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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光検出器において、
第１導電型の半導体領域と、
前記半導体領域内に形成された第１導電型の第１ウェル領域と、
前記第１ウェル領域内に形成された第２導電型の第１半導体層と、
前記半導体領域内に形成された第１導電型の第２ウェル領域と、
前記第２ウェル領域内に形成された第２導電型の第２半導体層と、
前記第１半導体層に電気的に接続された第１電極と、
前記第２半導体層に電気的に接続された第２電極と、
前記第１及び第２電極が接続され入力信号の差分を出力する信号処理回路と、
を備え、
前記第１及び第２ウェル領域の不純物濃度は異なっており、且つ、
前記半導体領域の不純物濃度は前記第１及び第２ウェル領域の不純物濃度のいずれよりも低い、
ことを特徴とする光検出器。
【請求項２】
前記半導体領域は、半導体基板であることを特徴とする請求項１に記載の光検出器。
【請求項３】
前記半導体領域は、第１導電型の半導体基板内に形成された第１導電型ウェル領域であることを特徴とする請求項１に記載の光検出器
【請求項４】
前記半導体領域の前記第１及び第２ウェル領域とは反対側に形成された高不純物濃度の第２導電型の半導体層を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の光検出器。
【請求項５】
前記第１及び第２ウェル領域の深さは同一であって、共に、１〜２μｍであることを特徴とする請求項１に記載の光検出器。
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テーマ:知的財産権

Ｘ線管および非破壊検査装置

(12)【公報種別】公開特許公報（Ａ）
(11)【公開番号】特開２００７−１２８８４８（Ｐ２００７−１２８８４８Ａ）
(43)【公開日】平成１９年５月２４日（２００７．５．２４）
(54)【発明の名称】Ｘ線管および非破壊検査装置
(51)【国際特許分類】

H01J 35/08 (2006.01) H01J 35/18 (2006.01) G01N 23/04 (2006.01)
【ＦＩ】

H01J 35/08 C H01J 35/18 G01N 23/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】７
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１６
(21)【出願番号】特願２００６−９１０７０（Ｐ２００６−９１０７０）
(22)【出願日】平成１８年３月２９日（２００６．３．２９）
(31)【優先権主張番号】特願２００５−２９５６９７（Ｐ２００５−２９５６９７）
(32)【優先日】平成１７年１０月７日（２００５．１０．７）
(33)【優先権主張国】日本国（ＪＰ）
(71)【出願人】
【識別番号】０００２３６４３６
【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社
【住所又は居所】静岡県浜松市市野町１１２６番地の１
(74)【代理人】
【識別番号】１０００８８１５５
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】１０００９２６５７
【弁理士】
【氏名又は名称】寺崎 史朗
(74)【代理人】
【識別番号】１００１２４２９１
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 悟
(72)【発明者】
【氏名】稲鶴 務
【住所又は居所】静岡県浜松市市野町１１２６番地の１ 浜松ホトニクス株式会社内
(72)【発明者】
【氏名】岡田 知幸
【住所又は居所】静岡県浜松市市野町１１２６番地の１ 浜松ホトニクス株式会社内
【テーマコード（参考）】

2G001
【Ｆターム（参考）】

2G001 AA01 AA03 AA10 AA20 BA11 CA01 HA13 KA03 MA05

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(57)【要約】
【課題】試料に対してＸ線を斜めから照射して得られる拡大透視画像の拡大率を高めると共に不必要なＸ線の漏洩を防止できるＸ線管及び非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】管状の真空外囲器本体６内に配置された陽極８のターゲット９に、電子銃１７から出射された電子を入射させてＸ線を発生させ、そのＸ線をＸ線出射窓１８から取り出すＸ線管１Ａにおいて、陽極８は、真空外囲器本体６の管軸線Ｃ１上に配置され、真空外囲器本体６の端部に設けられた封塞部５ｇには、Ｘ線出射窓１８が、真空外囲器本体６の管軸線Ｃ１に対して偏心して設けられている。
【選択図】 図３



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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状の陽極収容部内に配置された陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させてＸ線を発生させ、そのＸ線をＸ線出射窓から取り出すＸ線管において、
前記陽極は、前記陽極収容部の管軸線に沿って配置され、
前記陽極収容部の端部に設けられた封塞部には、前記Ｘ線出射窓が、前記陽極収容部の前記管軸線に対して偏心して設けられていることを特徴とするＸ線管。
【請求項２】
前記電子銃は、前記陽極収容部の前記管軸線の周囲に設けられた周壁に取り付けられ、前記Ｘ線出射窓は、前記管軸線に対して前記電子銃側に偏心していることを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
【請求項３】
前記Ｘ線出射窓は、前記封塞部に複数設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のＸ線管。
【請求項４】
前記電子銃は、前記陽極収容部に固定された管状の電子銃収容部に収容され、
前記電子銃収容部の管軸線は、前記陽極収容部の前記管軸線に直交し、
前記Ｘ線出射窓は、前記陽極収容部の前記管軸線と前記電子銃収容部の前記管軸線とを含む面からずれた位置に中心を有することを特徴とする請求項２記載のＸ線管。
【請求項５】
前記電子銃は、前記陽極収容部に固定された管状の電子銃収容部に収容され、
前記電子銃収容部の前記管軸線と前記陽極収容部の前記管軸線とは交差し、且つ前記電子銃収容部の前記管軸線と前記陽極収容部の前記管軸線とで形成された前記陽極側の挟角は鋭角であり、
前記Ｘ線出射窓は、前記陽極収容部の前記管軸線と前記電子銃収容部の前記管軸線とを含む面上に中心を有することを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
【請求項６】
前記封塞部には、前記陽極収容部の前記管軸線に対して偏心して設けられた前記Ｘ線出射窓と、前記陽極収容部の前記管軸線上に中心を有するＸ線中央出射窓とが設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のＸ線管。
【請求項７】
管状の陽極収容部内に配置された陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させてＸ線を発生させ、そのＸ線をＸ線出射窓から取り出すＸ線管と、前記Ｘ線管から取り出されて試料を透過した前記Ｘ線を撮像するＸ線画像撮像装置とを有する非破壊検査装置において、
前記ターゲットは、前記陽極収容部の管軸線上に配置され、
前記陽極収容部の端部に設けられた封塞部には、前記Ｘ線出射窓が、前記陽極収容部の前記管軸線に対して偏心して設けられていることを特徴とする非破壊検査装置。
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